v 功能特點
ü 本底真空5E-10Torr
ü 配置REHEED系統
ü 4軸加熱樣品臺，可旋轉、XYZ方向均可移動
ü 手動或自動LoadLock上下片系統
ü 抽氣流量控制
ü 全金屬泄漏閥
ü 激光加熱器
v 生長材料
異質結構金屬氧化物（如Fe/SrTiO3、Nb/SrTiO3、BiFeO3等）、高溫超導材料、硅氧化物、高K氧化物、金屬氮化物、鐵電材料等
北京時代天啟真空科技有限公司
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v功能特點ü本底真空5E-10Torrü配置REHEED系統ü4軸加熱樣品臺
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ü 本底真空5E-10Torr
ü 配置REHEED系統
ü 4軸加熱樣品臺，可旋轉、XYZ方向均可移動
ü 手動或自動LoadLock上下片系統
ü 抽氣流量控制
ü 全金屬泄漏閥
ü 激光加熱器
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