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FPD-PVD磁控濺鍍設備

產(chǎn)品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 產(chǎn)品型號：
  • 品牌：
  • 產(chǎn)品類別：高壓電源
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時間：2025-02-09 11:58:52
  • 瀏覽次數(shù)：15
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北京瑞科中儀科技有限公司

其他

  • 經(jīng)營模式：其他
  • 商鋪產(chǎn)品：387條
  • 所在地區(qū)：
  • 注冊時間：2015-05-12
  • 最近登錄：2022-10-24
  • 聯(lián)系人：
產(chǎn)品簡介

簡要描述：FPD-PVD磁控濺鍍設備針對中小尺寸的需求開發(fā)串集的PVD 設備，擁有4個單獨的濺鍍腔體，讓客戶能任意搭配沉積的材料，同時保有彈性和具有選擇性的系統(tǒng)。

詳情介紹

FPD-PVD磁控濺鍍設備

隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加，製造設備也隨著變得更大，需要越來越大的設備投資。SYSKEY針對中小尺寸的需求開發(fā)串集的PVD 設備，擁有4個單獨的濺鍍腔體，讓客戶能任意搭配沉積的材料，同時保有彈性和具有選擇性的系統(tǒng)。

image.png

FPD-PVD磁控濺鍍設備

應用領域

  • TFT-LCD。

  • 太陽能電池。

  • 觸碰屏。

  • 氧化物、氮化物和金屬材料的研究。


配置和優(yōu)點選件

  • 客製化基板尺寸為550 x 650 mm2(玻璃)。

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±5％。

  • 穩(wěn)定的溫度控制，可將基板加熱到400°C。

  • Cassette傳送站。

  • 基材電漿清潔。

  • OES、RGA或製程監(jiān)控的額外備用

    端口。


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