電子束蒸發鍍膜機知識點介紹
儀器結構：
它主要由主機、控制系統、真空路等組成。
1.主機：包括電壓源、電子槍、坩堝等；
2.控制系統：工藝控制、溫控等系統；
3.真空氣路系統：將初空泵和低溫真空泵結合使用，使設備腔達到高真空狀態，滿足真空蒸發工藝的要求。
工作原理：
電子束蒸發鍍膜機是實現蒸發過程的關鍵設備。抽真空蒸發室到真空狀態(一般是10-6tor)的級真空泵，電子束蒸發鍍膜機是利用高溫燈絲產生的中高能電子束，采用電子束掃描器控制高能量電子束轟擊蒸發源坩堝(水冷)材料，快速熔解材料達到蒸發溫度，形成物質的蒸汽云。將坩堝底部的蒸氣云在真空中凝結成一層薄膜。
儀器特點
1.目標幾乎涵蓋所有無機材料。
2.蒸發率高。
3.均勻性好。
4.高熔點材料可鍍。
電子束蒸發鍍膜機應用場景
鈦、鋁、鉑、鎳、銅、鎢等金屬薄膜材料。其主要應用領域有半導體集成電路芯片制造、無線通訊芯片制造、微機電系統芯片制造、光通信芯片制造、半導體激光芯片制造、的納米設備制造等。
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