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在線壽命和電阻率掃描儀

MDPlinescan被設計成一個易于集成的OEM單元，用于集成到各種自動化檢測上。關鍵測量是少子壽命掃描。樣品通常由測量探頭下面的傳送帶或機器人系統傳送。應用實例范圍從磚塊到晶片檢查，測量速度小于每晶片一秒。電池生產線的進料質量調查是常見的應用案例，以及在鈍化和擴散之后的工藝質量檢查，在許多其他的專業應用領域也有很大的可能性。只需要集成以太網連接和電源就可以了。包括附加電阻率測量選項。

優勢

• 在µ-PCD或穩態激發條件下測量少子壽命和電阻率線掃描是該儀器設計的重點。
  

• 集成OEM單元的生產，用于多晶或單晶硅晶片在不同工藝階段直至器件、磚塊或錠子的生產線的整合。
  

• 小尺寸和標準自動化接口易于集成。重點在于測量結果的長期可靠性和精密度。