TLM2-T212T222直線電機平臺是由 XY軸直線電機組合 垂直度±5，重現精度±0.002mm,
·直線電機具有等高速度高精度高加減速特性，直接驅動無背隙，維護低；
·本體為鋁合金一體加工成型，組合精度高；
·直線電機模組內置可靠防撞設計，防止因碰撞導致的電機損壞；
·使用日本THK 高級導軌，精度高、剛性高、噪音小、壽命長；
·使用英國Renishaw 光柵尺，穩定可靠，精度高；
·直線電機具有等高速度高精度高加減速特性，直接驅動無背隙，維護低；
·本體為鋁合金一體加工成型，組合精度高；
·直線電機模組內置可靠防撞設計，防止因碰撞導致的電機損壞；
·使用日本THK 高級導軌，精度高、剛性高、噪音小、壽命長；
·使用英國Renishaw 光柵尺，穩定可靠，精度高；
·內置Renishaw 原點，并配備光電式極限開關；
·使用以色列Servotronix 驅動器，響應頻率高、功能強大、穩定性強。
TLM2-T212T222XY軸直線電機平臺尺寸圖
XY軸直線電機平臺技術參數（僅供參考）
| 有效行程 （mm） | 總長度 （mm） | L1 (mm) | L2 (mm) | N | X軸移動部重量 （kg） | Y軸移動部重量 (kg) | XY平臺總重量 （kg） | ||
| X軸 | Y軸 | LX | LY | ||||||
| 100 | 100 | 430 | 460 | 28 | 99 | 4 | 5.5 | 16 | 42 |
| 100 | 200 | 430 | 560 | 28 | 99 | 5 | 16 | 44 | |
| 200 | 200 | 530 | 560 | 28 | 149 | 5 | 18 | 46 | |
| 100 | 300 | 430 | 660 | 28 | 99 | 6 | 16 | 46 | |
| 200 | 300 | 530 | 660 | 28 | 149 | 6 | 18 | 48 | |
| 300 | 300 | 630 | 660 | 28 | 199 | 6 | 20 | 50 | |
| 100 | 400 | 430 | 760 | 28 | 99 | 7 | 16 | 48 | |
| 200 | 400 | 530 | 760 | 28 | 149 | 7 | 18 | 50 | |
| 300 | 400 | 630 | 760 | 28 | 199 | 7 | 20 | 52 | |
在微米工程等級的應用以及晶圓設備中尤其重視精度及潔凈室適用性。采用高精度XY直線電機平臺為。
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