| 濃度范圍 | 1ppm～5%含 |
| 配氣寬度 | 20ppm-5%: U=2% 分析精度：K=1%或2% 5ppm-20ppm: U=3%分析精度：K=2% 1ppm-5ppm: U=5%分析精度：K=2% |
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| 濃度范圍 | 1ppm～5%含 |
| 配氣寬度 | 20ppm-5%: U=2% 分析精度：K=1%或2% 5ppm-20ppm: U=3%分析精度：K=2% 1ppm-5ppm: U=5%分析精度：K=2% |
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