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高純氮

氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產中，通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。

基本信息

中文名稱：高純氮

外文名稱：High purity nitrogen

化學式： N2

純度：≥99.999% —99.9999%

物理性質

high purity nitrogen

分子式：N2

性質：純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。

相對密度：ds(21.1℃，空氣=1)0.967

氣體密度：1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa

液體密度：808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。

相對分子質量：28.013

熔點：63.15K,-210℃,-346oF

沸點：195.60℃

臨界溫度：126.1K,-147.05℃,-232.69oF

臨界壓力：3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia

臨界體積：90.1cm3/mol

臨界密度：0.3109g/cm3

用途

在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

消防應急措施與防護

迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚，遇點火源著火爆炸。用排風機將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。用霧狀水保持火場中容器冷卻。可用霧狀水噴淋加速液氮蒸發，但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮，感到呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。

安全信息

· 危險類別：2.2

· 海關編碼：2804300000

· 危險品運輸編碼：UN10662.2

· WGKGermany：-

· 安全說明：S38

· RTECS號：QW9700000