国内精品久久人妻性色av_日本人妻久久久中文字幕_国产精品一区二区四区av_久久亚洲美女精品国产精品_ewp绞死vk失禁编_91精品免费观看老司机_色欲色香天天天综合网www_黄色avav_日本一区二区三区电影免费

您好,歡迎來到歐亞貿(mào)易網(wǎng)!請 |免費注冊

產(chǎn)品展廳本站服務收藏該商鋪

北京瑞科中儀科技有限公司

免費會員
手機逛
北京瑞科中儀科技有限公司
當前位置:北京瑞科中儀科技有限公司>>沉積系統(tǒng)>> 感應耦合電漿化學氣相沉積設(shè)備

感應耦合電漿化學氣相沉積設(shè)備

產(chǎn)品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 產(chǎn)品型號:
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:天平
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2025-02-09 12:53:26
  • 瀏覽次數(shù):4
收藏
舉報

聯(lián)系我時,請告知來自 歐亞貿(mào)易網(wǎng)

北京瑞科中儀科技有限公司

其他

  • 經(jīng)營模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:387條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊時間:2015-05-12
  • 最近登錄:2022-10-24
  • 聯(lián)系人:
產(chǎn)品簡介

簡要描述:感應耦合電漿化學氣相沉積設(shè)備是一種使用ICP的化學氣相沉積技術(shù),可為沉積反應提供一些能量。與PECVD方法相比,ICP-CVD可以在較低的溫度下沉積各種薄膜而不會降低薄膜質(zhì)量。因使用ICP做為電漿源,有電漿濃度較高、能量損耗較低、功率較大與反應速率較高等優(yōu)點。

詳情介紹

image.png

ICP-CVD 感應耦合電漿化學氣相沉積設(shè)備(ICP-CVD)是一種使用ICP的化學氣相沉積技術(shù),可為沉積反應提供一些能量。與PECVD方法相比,ICP-CVD可以在較低的溫度下沉積各種薄膜而不會降低薄膜質(zhì)量。因使用ICP做為電漿源,有電漿濃度較高、能量損耗較低、功率較大與反應速率較高等優(yōu)點。

SYSKEY感應耦合電漿化學氣相沉積設(shè)備的ICP-CVD可以精準的控制製程氣體與監(jiān)控其數(shù)據(jù)(壓力、載臺溫度),並提供高品質(zhì)的薄膜。

應用領(lǐng)域腔體
  • 奈米碳管與石墨烯製程。

  • SiOx、SiNx、a-Si、DLC和其他薄

    膜製程。

  • 二維材料。

  • 醫(yī)療和商業(yè)產(chǎn)品的耐磨薄膜。

  • 陽極電鍍處理鋁腔。

  • 通過使用水冷系統(tǒng)、加熱器或

    加熱包來控制腔體溫度。


配置和優(yōu)點選件
  • 客製化的基板尺寸,直徑可達

    12寸晶圓。

  • 腔體壓力:50~10-3 Torr。

  • 精準流量控制器,氣體分佈高度均勻,最多可擴充10條氣體管線。

  • 穩(wěn)定的溫度控制,將載盤加熱至700°C。

  • 使用Tornado ICP線圈,ICP電漿範

    圍為50W ~2000W,滿足客戶ICP-CVD製程需求。

  • 可以與傳送腔、機械手臂和手

    套箱整合在一起。

  • RPS用於腔體清潔。

  • 橢圓偏振光譜儀。

  • 發(fā)射光譜儀。

  • 高真空傳送系統(tǒng)。




上一篇: FPD-PECVD 電漿輔助化學氣相沉積
下一篇: 低真空化學氣相沉積設(shè)備
同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

在線詢價

X

已經(jīng)是會員?點擊這里 [登錄] 直接獲取聯(lián)系方式

會員登錄

X

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~