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進(jìn)口 Microchem SU-8 光刻膠 2000系列 100-150

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:色譜配件
  • 所在地:
  • 信息完整度:
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  • 更新時(shí)間:2024-05-30 12:45:13
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  • 經(jīng)營(yíng)模式:其他
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  • 最近登錄:2024-05-30
  • 聯(lián)系人:張小姐
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

進(jìn)口SU-8光刻膠系列,克服了普通光刻膠采用UV光刻深寬比不足的問(wèn)題,在近紫外光(365nm-400nm)范圍內(nèi)光吸收度很低,且整個(gè)光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致,可得到具有垂直側(cè)壁和高深寬比的厚膜圖形

詳情介紹

Microchem SU 8光刻膠系列產(chǎn)品簡(jiǎn)介

新型的化學(xué)增幅型負(fù)像 SU- 8 膠是一種負(fù)性、環(huán)氧樹(shù)脂型、近紫外線光刻膠,克服了普通光刻膠采用 UV光刻導(dǎo)致的深寬比不足的問(wèn)題,十分適合于制備高深寬比微結(jié)構(gòu)。SU- 8 光刻膠在近紫外光(365nm- 400nm)范圍內(nèi)光吸收度很低,且整個(gè)光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致,可得到具有垂直側(cè)壁和高深寬比的厚膜圖形;它還具有良好的力學(xué)性能、抗化學(xué)腐蝕性和熱穩(wěn)定性。SU- 8 在受到紫外輻射后發(fā)生交聯(lián),是一種化學(xué)擴(kuò)大負(fù)性膠,可以形成臺(tái)階等結(jié)構(gòu)復(fù)雜的圖形;且 SU- 8 膠不導(dǎo)電,在電鍍時(shí)可以直接作為絕緣體使用。由于具有較多優(yōu)點(diǎn),SU- 8 膠正被逐漸應(yīng)用于 MEMS、芯片封裝和微加工等領(lǐng)域。目前,直接采用 SU- 8 光刻膠來(lái)制備深寬比高的微結(jié)構(gòu)與微零件已經(jīng)成為微加工領(lǐng)域的一項(xiàng)新技術(shù)。

Microchem SU 8光刻膠光刻前清洗工藝

為了獲得更好的光刻效果,在進(jìn)行光刻膠旋涂之前,需要對(duì)基材進(jìn)行清洗。常用的清洗方法是利用濃硫酸及雙氧水的混合溶液浸泡,隨后用去離子水清洗并用氮?dú)獯蹈伞3酥膺€可以利用反應(yīng)離子刻蝕或等離子表面清洗儀清洗。

Microchem SU 8光刻膠光刻工藝

SU- 8 光刻膠組分旋涂在基材上,旋涂厚度幾至幾百微米。涂覆晶片經(jīng)過(guò)前烘并冷卻至室溫。在烘干過(guò)程中,優(yōu)先選擇加熱均勻且溫度控制精確的加熱板;不能使用鼓風(fēng)干燥箱,防止因?yàn)楣饪棠z表面優(yōu)先固化從而阻止內(nèi)層光刻膠溶劑的揮發(fā)。冷卻后,將負(fù)光掩模與涂覆晶片接觸并在汞燈的紫外輻射劑量10-250mJ/㎝?條件下進(jìn)行曝光。曝光結(jié)束后,選擇合適的烘烤溫度及時(shí)間。將晶片在顯影液中浸漬顯影,隨后用氮?dú)獯蹈伞?/span>

SU-8光刻膠的優(yōu)點(diǎn)

1、SU-8光刻膠在近紫外光(365nm- 400nm)范圍內(nèi)光吸收度很低,且整個(gè)光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致,可得到具有垂直側(cè)壁和高深寬比的厚膜圖形;

2、SU-8光刻膠具有良好的力學(xué)性能、抗化學(xué)腐蝕性和熱穩(wěn)定性;

3、SU-8在受到紫外輻射后發(fā)生交聯(lián),是一種化學(xué)擴(kuò)大負(fù)性膠,可以形成臺(tái)階等結(jié)構(gòu)復(fù)雜的圖形;

4、SU-8膠不導(dǎo)電,在電鍍時(shí)可以直接作為絕緣體使用。

由于具有較多優(yōu)點(diǎn),SU-8 膠正被逐漸應(yīng)用于 MEMS、芯片封裝和微加工等領(lǐng)域。目前,直接采用 SU8光刻膠來(lái)制備深寬比高的微結(jié)構(gòu)與微零件已經(jīng)成為微加工領(lǐng)域的一項(xiàng)新技術(shù)。在微流控芯片加工中,SU-8主要用于快速模塑法加工PDMS微流控芯片。

光刻膠型號(hào)及參數(shù)

光刻膠名稱

型號(hào)

勻膠厚度

規(guī)格

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2000.5

0.5-0.8μm

100ml;500ml;1L;1加侖

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2002

2-2.9μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2005

5-8μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2007

7-13μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2010

10-20μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2015

13-38μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2025

20-80μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2035

35-120μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2050

40-170μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2075

60-240μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2100

100-260μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 2150

190-650μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 3005

5-10μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 3010

8-15μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 3025

22-60μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 3035

32-80μm

100ml;250ml;500ml;1L

MicroChem SU-8 負(fù)膠

SU-8 3050

44-100μm

100ml;250ml;500ml;1L

Merck AZ 正/負(fù)可轉(zhuǎn)換型光刻膠

AZ 5214

0.5-6μm

100ml;500ml;1L;1加侖

AZ 50XT 正膠

AZ 50XT

40-80μm

100ml;500ml;1夸脫

AZ 9260 正膠

AZ 9260

6.2-15μm

100ml;250ml;500ml;1L;1加侖

AZ2020正膠

AZ nl0F2020

>4μm

1加侖

AZ1500正膠

AZ 1500(4.4cp/20cp/38cp)

None   

1加侖

AZ9620/AZ4330正膠

AZ 9620/AZ 4330

None  

1加侖

MerckAZ1518正膠

AZ 1518

1-4.3μm

1加侖

AZ 4620 正膠

AZ 4620

10-15μm

100ml;500ml;1L;

4.jpg

標(biāo)簽:   光刻膠 SU-8光刻膠
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